濕法腐蝕清洗系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介
濕法腐蝕清洗系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導(dǎo)體材料等行業(yè)
標(biāo)準(zhǔn)配置：高純進(jìn)口板材

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更新時間：2021-06-10

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

半導(dǎo)體電子設(shè)備

全自動硅片（晶片）超聲波清洗機硅片甩干機單槽分體式超聲波清洗機四槽半自動超聲波清洗機半自動超聲波清洗機全自動陶瓷盤超聲波清洗機硅片擴散超聲波清洗機 MESA/SC晶片清洗設(shè)備晶片腐蝕清洗機外延片（硅片）腐蝕清洗機立式旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機濕法腐蝕清洗系統(tǒng) 硅材料清洗旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機

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主要特點：

成熟的模塊化工藝組合

可面向用戶工藝需要，定制化設(shè)計

已應(yīng)用于20nm級別IC工藝線

針對LED生產(chǎn)線，提高整體解決方案

全自動清洗/手動清洗可選

整機防漏液設(shè)計

廣泛應(yīng)用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導(dǎo)體材料等行業(yè)

標(biāo)準(zhǔn)配置：

高純進(jìn)口板材

高結(jié)晶工藝管道

高潔凈氣動閥門

防腐機械手

伺服電機驅(qū)動

人機對話界面，觸摸屏操作

標(biāo)準(zhǔn)工藝模塊

SC-I溶液腐蝕槽

SC-II溶液腐蝕槽

SC-III溶液腐蝕槽

QDR槽

循環(huán)清洗槽

超聲/兆聲清洗槽

可選模塊：

鼓氮

水溶超聲/水浴兆聲槽

槽內(nèi)加熱/制冷循環(huán)

漏液檢測

水阻檢測

自動供液系統(tǒng)

自動配液系統(tǒng)

自動滅火系統(tǒng)（有機清洗）

ESD功能（有機清洗）

MES接口（可選）

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